( 출처 : 전자신문 ) 발행일 : 2024-02-07 11:10 지면 : 2024-02-08 21면
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NF120AW
엑스레이 검사기 기업 쎄크는 최근 열린 '세미콘 코리아 2024' 행사 기간 반도체 고대역폭메모리(HBM) 검사 장비 NF120을 선보였다고 7일 밝혔다.
회사는 현장에서 HBM 반도체 검사장비 NF120과 오프라인 엑스레이(Off-ilne X-ray) 검사장비, 인라인(In-line) 자동 X-ray 검사장비(AXI system)를 선보여 관람객 이목을 끌었다.
전시회 기간 300여명 이상 국내외 반도체 제조 기업과 업계 임원진 등이 회사 제품에 관심을 표했다. 200나노(nano)급 포컬 스팟 사이즈(focal spot size) 나노포커스 오픈 튜브(Nano-focus open tube)를 탑재한 검사 장비를 소개했다.
특히 NF120 시리즈는 나노 단위 급 초미세 불량 검출이 가능한 검사 장비로 웨이퍼 레벨(Wafer level) 공정에서 TSV, 마이크로 범프(Micro-bump), 구리 기둥(Cu pillar) 등에 발생하는 초미세 결함 자동 검사에 최적화한 제품으로 관심을 받았다. 회사 고유 기술인 3D CT용 자동 방사선조사범위조절(Auto Collimation), 필터링(Filtering) 기술로 엑스레이 데미지 프리를 보장하는 메모리 반도체 분야 최적 안전 검사 장비라는 게 회사 측 설명이다.
회사 관계자는 “국내 최대 반도체 전시회 '세미콘코리아'에 다양한 엑스레이 제품 출품을 통해, 산업용 검사장비 영역과 기존 확보한 EV 전기차 배터리 시장 외에 SEM 시장까지 확장하겠다”며 “올해는 고대역폭메모리 필수 공정 NF120의 본격적인 매출 기여가 기대되는 해”라며 “세미콘 코리아 공략을 통해 시장 공략 고삐를 죄겠다”고 말했다.
부스 전경
회사는 2019년 해양수산부 산하 선박해양플랜트연구소(KRISO)로부터 엑스선 활용 초고속 컨테이너 검색 기술 등을 이전받았다. 이후 여수 광양항 고정 벙커형 컨테이너 검사기의 선형 가속기를 회사 자체 개발한 선형 가속기로 교체했다. 이후 선형가속기 국산화에 앞장서고 있다. 지난 2019년 중소벤처기업부 선정 '소재·부품·장비 강소기업 100'에 선정됐다.
임중권 기자 lim9181@etnews.com
Nano-focus X-ray 검사장비
Sub-micron 단위의 불량 검출이 요구되는 반도체 패키징, 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 분야에 특화된 200나노급 Nano-focus Tube를 장착한 장비입니다. 석정반 베이스 상에 탑재된 고 분해능 구동축 제어를 통하여 불량 부위를 정확히 추적하여 검사를 할 수 있습니다.
3D CT 모듈을 추가 구성할 경우 단층 분석이 가능하며, 웨이퍼 핸들러 장착을 통하여 웨이퍼 시료의 로딩부터 검사판독까지 자동으로 진행되는 Wafer Bump Auto Inspection도 가능합니다.
